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半导体实验室气路的类型及操作注意一定要搞懂

时间:2021-01-22 浏览次数:13

   近年来半导体工业发展快速,而在半导体厂中所使用的制程化学气体欲具有向导的危险性,任何疏失都有可能造成人员严重的伤亡与设备重大的损失,因此采用半导体实验室气路将这些高危险气体安全地输送到制程机台上使用,将是半导体厂安全中重要的考量因素。
  一般可区分为大宗气体和特殊气体,其中大宗气体通常是以室外的大型气站或槽车供应为主;而特殊气体的部分由于其特性包含易燃性、腐蚀性及毒性等,如果发生泄露可能酿成灾祸,因此需要特别注意。
  1、半导体实验室气路之可燃气体:
  在实验室中,可以提供热源的气体一般是:天然气、煤气、液化气等,使用这种燃气主要就是用于试样熔融分解和一些玻璃器皿制造,也能用在煤气沙浴。它的使用场所一般是在试验台或者实验室通风柜中,但是在试验台上使用,要保证台面耐高温和设计原子吸收或其他排气装置,同样也具有耐高温的性能。以上可燃气体都具有高危险性,进行气体管路的设计和安装时要达到国家的要求标准、行业规范,非专业工程师不得随意改动和安装,以免气体泄漏,造成事故的发生。
  2、半导体实验室气路之高纯气体:
  常规咱们在实验室中接触到的高纯气体有:氧气、氮气、氩气、空气、氮气等,这些高纯气体等级有所不同,也意味着他们的纯度不同,可根据实验要求或者仪器要求来先择适合的纯度级别。它们均存放在高压气瓶当中,使用时要进行机械减压,才能达到实验所需的压力值。像乙炔、乙烷、氢气等都是易燃易爆气体,一旦泄露对人体和环境有危害,所以对气瓶的存放有严格要求,必须有独立的存放空间,不得和助燃气体混放、远离火源等。当然在使用任何气体时,都需要轻拿轻放,因为气瓶中压力很大,如果不小心磕碰,随时都会造成危险。投放使用之前检查好钢瓶的外观是否有皮损、严重锈迹、阀门是否有泄露,出气口是否有灰尘杂质,出口头垫片是否老化,必要时要做好清理和更换。

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